产品描述
FJD‑4208ASG‑EX 防爆型 IPA 全自动超声波清洗机，专为半导体靶材、金属背板清洗开发，整机防爆安全设计，全自动机械手完成整套清洗工序，适配 IPA 异丙醇工艺，满足半导体材料高精度清洗需求。
设备描述
本全自动 IPA 防爆超声波清洗机由清洗槽、漂洗槽、IPA 槽、新能源干燥槽、进出料装置、运行机械手、上下抛动机构、自动气动门、自动报警灭火系统、整机机架、全封闭罩、玻璃观察窗、操作面板与 PLC 人机界面、防爆自动化控制系统等部件组成。 适用于金属靶材和背板清洗，可处理铝合金、铜合金、W/Ta/Ti/Nb/Mo 等各类半导体材料。
工艺流程
上料→1# 超纯水超声波清洗→2# 超纯水超声波清洗风切→3#IPA 异丙醇精洗→4# 风切热风干燥→下料
应用行业
主要用于各类靶材、半导体材料清洗，覆盖以下物料：
金属靶材：铝、铜、钛、镍、银等
合金靶材：钛铝、镍铬、钴镍等
陶瓷靶材：ITO 氧化铟锡、AZO 铝掺杂氧化锌等
半导体靶材：硅、锗等
设备核心优势：防爆安全控制系统｜全自动机械手作业｜IPA 异丙醇精洗工艺｜超纯水清洗 + 热风干燥｜适配半导体各类靶材背板清洗
